Принцип за контрола на притисок на опрема за вакуумско обложување

1. Вовед во позадина
Опремата за вакуумско обложување е еден вид опрема што широко се користи во индустриското производство. Неговата главна функција е да го стави материјалот што треба да се премачка во комората за вакуум, а преку реакцијата под висока температура и висока вакуумска околина, филмскиот слој е рамномерно депониран на површината на материјалот. , и формирајте одреден слој за обложување со посебни функции и карактеристики. Меѓу нив, вакуумскиот степен и стапката на адхезија во опремата се важни индикатори кои влијаат на квалитетот на слојот за обложување, а стабилноста на вакуумскиот степен зависи од контролата на притисокот во опремата.
2. Принцип на контрола на притисок на опрема за вакуумско обложување
1. Дефиниција на вакуумски степен
Пред да се воведе принципот на контрола на притисокот, неопходно е да се воведе што е вакуум. Во физиката, вакуумот се однесува на гасна околина чиј притисок е помал од атмосферскиот притисок, така што степенот на вакуум се однесува на притисокот на гасот во одреден простор. Во принцип, вакуумот обично се мери во паскали (ПА) или метри лента (МБАР). Во опремата за вакуумско обложување, вообичаениот опсег на вакуум е 10^-6pa ~ 10^-2pa.
2. Принципот на контрола на притисокот
Кога вакуумот е премногу висок или премногу низок, тоа ќе влијае на нормалното работење на опремата. Затоа, неопходно е да се контролира нивото на вакуум во опремата преку одреден метод. Меѓу нив, контролата на притисокот е релативно едноставен и ефикасен метод на контрола. Поточно, принципот на контрола на притисокот е да се користи контролор на притисок за контрола на стапката на проток на гас во опремата со откривање на притисокот на контролираниот крај, а потоа преку механизмот за повратни информации, со контролирање на отворањето на вентилот, со цел да се постигне целта за контрола на притисокот.
3. Основниот состав на контролорот на притисок
Во опремата за вакуумско обложување, контролорот за притисок обично се користи за контрола на притисокот. Неговиот основен состав вклучува четири дела: сензор за откривање, контролер, активирач и систем за контрола.
Сензор за откривање: Главно се користи за откривање на промена на притисокот на контролираниот крај и да се претвори во соодветен излез на електричен сигнал за употреба од страна на контролорот.
Контролер: Главно го прима излезот на електричен сигнал од страна на сензорот, го обработува и анализира, а потоа го храни резултатот од анализата назад кон активирачот за да го контролира степенот на отворање на активаторот.
Актуатор: Главно ја контролира стапката на проток на гас во опремата со контролирање на степенот на отворање на вентилот, со цел да се постигне целта за контрола на притисокот.
Контролен систем: Главно се користи за следење и контрола на различните индикатори во опремата, како што се температурата, вакуумскиот степен, итн., И да се направи серија контролни стратегии.
3. Резиме
Накратко, принципот на контрола на притисокот во опремата за вакуумско обложување е да се контролира притисокот во опремата преку релативно едноставен и ефикасен механизам за повратни информации. За да се воспостави таков стабилен систем за контрола, бара техничка поддршка на различни аспекти на системот за контрола на опремата, како што се мониторинг на параметрите, контролен алгоритам, контрола на активаторот, поврзување на системот, итн. Овие технички фактори бараат соработка на одреден професионален и технички персонал за да се обезбеди дека опремата може да покаже повеќе одлични перформанси.